[发明专利]氢化物气相外延的镓舟结构

权利要求书

1.一种氢化物气相外延的镓舟结构，包括舟体(1)，其特征在于，还包括：

所述舟体(1)的顶部设置镓源入口(11)，所述舟体(1)内用于盛放液态镓源(200)，所述舟体(1)内设置反应物出口管路(12)，所述反应物出口管路(12)的顶端(121)高于液态镓源(200)的液面，所述反应物出口管路(12)的底端(122)穿出所述舟体(1)的底壁；以及

分气盘(2)，所述分气盘(2)设置在所述舟体(1)内的底壁上，在所述分气盘(2)上设置氯化氢进口(21)，所述氯化氢进口(21)包括两个并分别设置在所述分气盘(2)的侧边的进口；

所述分气盘(2)包括主管路(23)、与所述主管路(23)的上下两端相连通的第一分支管路(24)，以及分别与相应的所述第一分支管路(24)相连通的第二分支管路(25)，其中，所述第二分支管路(25)与所述主管路(23)呈平行式设置；

所述分气盘(2)还包括分别与相应的所述第二分支管路(25)的上下两端相连通的第三分支管路(26)，其中，所述第三分支管路(26)与所述第一分支管路(24)呈平行式设置；

在各个所述第三分支管路(26)的顶端均呈等距式构造有多个氯化氢出口(22)；各个所述氯化氢出口(22)均位于液态镓源(200)的液面的下方。

2.根据权利要求1所述的氢化物气相外延的镓舟结构，其特征在于，两个所述氯化氢进口(21)呈相对式设置。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的氢化物气相外延的镓舟结构，其特征在于，所述分气盘(2)的水平截面的轮廓尺寸与所述舟体(1)的底壁的水平截面的轮廓尺寸相同。

4.根据权利要求1所述的氢化物气相外延的镓舟结构，其特征在于，所述镓舟结构还包括设置在所述舟体(1)的外表面的加热部件。

5.根据权利要求4所述的氢化物气相外延的镓舟结构，其特征在于，所述加热部件包括沿所述舟体(1)的纵向进行螺旋盘绕的金属加热丝或红外加热丝。

6.根据权利要求1至2中任一项所述的氢化物气相外延的镓舟结构，其特征在于，所述镓舟结构还包括与所述氯化氢进口(21)相连通的氯化氢进口管路(3)，其中，在所述氯化氢进口管路(3)上设置阀门(31)。