[发明专利]用于清洁静电吸盘的工具与方法有效
| 申请号： | 201910553631.9 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110813918B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 杨岳霖;廖啟宏 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/04 | 分类号： | B08B5/04;B08B7/00;B08B7/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用于清洁静电吸盘的工具及方法。方法包含传送辐射至静电吸盘、接收辐射的反射、分析辐射的反射、基于分析辐射的反射来判定静电吸盘上是否存在颗粒以及当判定颗粒存在时将清洁工具移动至静电吸盘上颗粒的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洁 静电 吸盘 工具 方法 | ||
【主权项】：
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