[发明专利]一种超厚吸能涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201910548727.6 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110144562B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳晓平;何卫锋 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超厚吸能涂层的制备方法，包括：S01:对基体进行气体离子源清洗；S02：基体进行高功率脉冲金属离子清洗；S03：通入乙炔和氮气沉积CrAlNC；S04：关闭乙炔阀门，高功率脉冲磁控沉积ZrN；S05：关闭氮气通入乙炔沉积CrAlC；S06：循环沉积膜层直至膜层厚度大于20微米。本发明实施例提供的方法，通过气体离子源、高功率脉冲磁控、多弧离子镀技术相结合的方式，沉积的超厚涂层其内应力低、韧性、抗冲击及吸能特性性好。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超厚吸能 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超厚吸能涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S01:对基体进行气体离子源清洗；S02：基体进行高功率脉冲金属离子清洗；S03：通入乙炔和氮气沉积CrAlNC；S04：关闭乙炔阀门，高功率脉冲磁控沉积ZrN；S05：关闭氮气通入乙炔沉积CrAlC；S06：循环沉积膜层直至膜层厚度大于20μm。
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