[发明专利]一种超厚吸能涂层的制备方法

权利要求书

1.一种超厚吸能涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S01:对基体进行气体离子源清洗，清洗时进行加热处理，加热温度不低于400℃。同时离子源处理分为两个阶段进行；第一阶段0-600V，束流2-5A，处理30min，紧接着1200-1800V，束流0-1A，处理40min；

S02：基体进行高功率脉冲金属离子清洗，清洗的脉冲功率0-1MW，脉宽0-30ms，金属束流强度为2-6A，清洗金属元素为Ti、Cr、Co或Hf，负偏压500-800V；

S03：通入乙炔和氮气沉积CrAlNC，离子束流1-2A，乙炔进气量为0-500sccm，氮气进气量为0-1000sccm，乙炔和氮气为随时间正弦变化，动态过程中乙炔与氮气进气量瞬态值比不高于1：2；

S04：关闭乙炔阀门，高功率脉冲磁控沉积ZrN，氮气的进气量为0-500sccm，高功率脉冲功率0-1MW，脉宽0-50ms，金属束流强度为1-2A，负偏压100-400V；

S05：关闭氮气通入乙炔沉积CrAlC，乙炔的进气量为0-1000sccm，多弧阴极为CrAl，起弧电流40-100A，离子束流1-2A；

S06：循环沉积膜层直至膜层厚度大于20μm。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，S01气体离子源为阳极层离子源，功率为0-5KW，束流为0-5A，处理尺寸为不小于800mm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，S03在进行沉积CrAlNC时技术为多弧技术，多弧阴极为CrAl，起弧电流40-100A。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，S06工件为匀速公转,转速0-5r/min，阴极和工件之间挡板阀与气体流量计联动，氮气开启时，挡板阀中心位于两组多弧靶中心，乙炔或乙炔氮气同时开启时挡板阀中心位于两组磁控靶中心。

5.根据权利要求1所述的方法，沉积的膜层结构为CrAlNC—ZrN-CrAlC循环结构，循环膜层单元中ZrN厚度不小于单元总厚度的1/2。