[发明专利]一种基于离子交换玻璃基底薄膜沉积方法在审
| 申请号： | 201910534672.3 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN110330237A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 张文杰;赵志敏;刘振鲁;李琳 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C03C21/00 | 分类号： | C03C21/00;C03C17/34 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于离子交换玻璃基底薄膜沉积方法，包括如下步骤：(1)将含有钠离子的碱硅酸盐玻璃浸入含有钾离子的碱金属熔融盐中，进行离子交换处理；(2)将离子交换后的碱硅酸盐玻璃置于真空镀膜系统中，室温条件下沉积三氧化二铝薄膜阻挡层；(3)于25‑350℃条件下，在三氧化二铝薄膜阻挡层上沉积介质薄膜。本发明在离子交换玻璃基底和薄膜之间加入三氧化二铝薄膜阻挡层，避免了物理气相沉积过程离子交换玻璃基底强度下降；本发明的离子交换玻璃广泛有效地应用于光电触摸显示器件。 | ||
| 搜索关键词： | 离子交换玻璃 沉积 三氧化二铝薄膜 阻挡层 基底薄膜 碱硅酸盐 基底 碱金属熔融盐 离子交换处理 物理气相沉积 真空镀膜系统 玻璃 浸入 触摸显示 介质薄膜 离子交换 室温条件 钾离子 钠离子 有效地 薄膜 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于离子交换玻璃基底薄膜沉积方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)将含有钠离子的碱硅酸盐玻璃浸入含有钾离子的碱金属熔融盐中，进行离子交换处理；(2)将离子交换后的碱硅酸盐玻璃置于真空镀膜系统中，室温条件下沉积三氧化二铝薄膜阻挡层；(3)于25‑350℃条件下，在三氧化二铝薄膜阻挡层上沉积介质薄膜。
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