[发明专利]抛光制品有效
| 申请号： | 201910517080.0 | 申请日： | 2015-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN110238752B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | N·B·帕蒂班德拉;K·克里希南;D·莱德菲尔德;R·巴贾杰;R·E·帕里;G·E·蒙柯;F·C·雷德克;M·C·奥里拉尔;J·G·方 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨学春;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及抛光制品。抛光制品制造系统包含：进料段和卷取段，所述卷取段包含供应辊，所述供应辊具有抛光制品，所述抛光制品设置在所述供应辊上并用于化学机械抛光工艺；打印段，所述打印段包含设置在所述进料段与所述卷取段之间的多个打印头；以及固化段，所述固化段设置在所述进料段与所述卷取段之间，所述固化段包括热固化装置和电磁固化装置中的一者或两者。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 制品 | ||
【主权项】：
1.一种抛光制品，包括：复合垫主体，所述复合垫主体包括：多个抛光特征，所述多个抛光特征形成抛光表面，其中所述多个抛光特征由第一材料形成，所述多个抛光特征中的各个抛光特征由沟槽分开，以及所述抛光特征包括多个孔隙，所述多个孔隙包括由所述第一材料至少部分地包围的第二材料，以及一个或更多个基底特征，所述一个或更多个基底特征由第三材料形成，其中所述多个抛光特征和所述一个或更多个基底特征形成单一主体。
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