[发明专利]抛光制品

权利要求书

1.一种抛光制品，包括：

单一复合垫主体，所述单一复合垫主体包括基底层以及自所述基底层延伸的一个或多个抛光特征，所述一个或多个抛光特征形成抛光表面，其中

所述基底层由连续沉积的多个第一层形成，所述多个第一层包含第一材料，

所述一个或多个抛光特征由连续沉积在所述基底层上的多个第二层形成，所述多个第二层包含所述第一材料以及由所述第一材料至少部分地包围的第二材料的离散区域。

2.如权利要求1所述的抛光制品，其中所述第一材料是具有与所述第二材料不同的对固化方法的反应性的聚合物材料。

3.如权利要求1所述的抛光制品，其中所述第二材料包括聚乙二醇(PEG)。

4.如权利要求2所述的抛光制品，其中所述第一材料具有大于所述第二材料的硬度的硬度。

5.如权利要求1所述的抛光制品，其中所述第二材料包括聚合物，形成所述一个或多个抛光特征将所述第二材料接合到所述第一材料，并且所述第二材料的所述离散区域具有比所述第一材料的硬度大的硬度。

6.如权利要求5所述的抛光制品，其中所述第二材料的所述离散区域的硬度在从约40肖氏D标度至约90肖氏D标度的范围内，且所述第一材料的硬度在从约26肖氏A标度至约95肖氏A标度的范围内。

7.如权利要求4所述的抛光制品，其中所述第二材料的所述离散区域对应于具有所述第二材料设置在其中的多个孔隙，并且所述多个孔隙中的每一个具有约150微米或更小的平均直径。

8.如权利要求7所述的抛光制品，其中所述第一材料和所述第二材料使用相应的打印头来沉积以在所述抛光表面中形成图案。

9.如权利要求1所述的抛光制品，其中所述单一复合垫主体被设置在基底膜上，所述基底膜对电磁能量是呈透明的。

10.如权利要求7所述的抛光制品，其中第二材料包括聚乙二醇(PEG)、聚环氧乙烷(PEO)、水凝胶、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、或羧甲基纤维素(CMC)。

11.一种抛光制品，包括：

复合垫主体，所述复合垫主体包括：

多个抛光特征，所述多个抛光特征形成抛光表面，其中

所述多个抛光特征由第一材料形成，以及

所述抛光特征包括多个孔隙，所述多个孔隙包括由所述第一材料至少部分地包围的第二材料；以及

一个或更多个基底特征，所述一个或更多个基底特征由第三材料形成，其中所述多个抛光特征和所述一个或更多个基底特征形成单一主体，

其中所述复合垫主体包括中心区域和边缘区域，所述中心区域和所述边缘区域的每一个包括所述第一材料和所述第三材料，其中在所述边缘区域中的抛光特征的模量与在所述中心区域中的抛光特征的模量不同。

12.一种抛光制品，包括：

复合垫主体，所述复合垫主体包括：

多个抛光特征，所述多个抛光特征形成抛光表面，其中

所述多个抛光特征由第一材料形成，以及

所述抛光特征包括多个孔隙，所述多个孔隙包括由所述第一材料至少部分地包围的第二材料；以及

一个或更多个基底特征，所述一个或更多个基底特征由第三材料形成，其中所述多个抛光特征和所述一个或更多个基底特征形成单一主体，

其中所述复合垫主体进一步包括中心区域和边缘区域，所述中心区域和所述边缘区域的每一个包括所述第一材料和所述第三材料，其中在所述边缘区域中的一个或更多个基底特征的模量与在所述中心区域中的一个或更多个基底特征的模量不同。