[发明专利]一种燃料电池双极板碳涂层多腔体沉积系统及其应用在审
| 申请号： | 201910511609.8 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN110284112A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 黎焕明;毕飞飞;徐一凡;姜天豪;彭林法;蓝树槐 | 申请（专利权）人： | 上海治臻新能源装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/56;C23C16/513;C23C16/54;H01M8/0206;H01M8/0213;H01M8/0228 |
| 代理公司： | 上海世圆知识产权代理有限公司 31320 | 代理人： | 陈颖洁;王佳妮 |
| 地址： | 201306 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种燃料电池双极板碳涂层的多腔体沉积系统，包括：进片室、离子清洗室、PVD工艺室组、过渡室、PECVD工艺室组、冷却室以及出片室，各腔室按顺序通过门阀串联在一起；各腔室内底部设有传送装置，串联贯穿于整个沉积系统；样品架设在传送装置上；各腔体顶部设有导向装置；传送装置的上端设有偏压滚轮和外部偏压电源相连；除进片室外，其余各腔室内有真空系统和气路系统，底部开有抽气口。本发明将PECVD法和PVD法相结合实现碳涂层的连续制备，采用金属网状结构形成空心阴极放电，增强等离子体密度和均匀性，提高碳涂层的致密性及其沉积效率，提高了燃料电池双极板非晶碳涂层的商业化应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 碳涂层 燃料电池双极板 沉积系统 传送装置 多腔体 工艺室 串联 等离子体 室内 金属网状结构 空心阴极放电 非晶碳涂层 商业化应用 沉积效率 导向装置 离子清洗 连续制备 偏压电源 腔体顶部 真空系统 抽气口 出片室 过渡室 进片室 均匀性 冷却室 致密性 上端 滚轮 进片 门阀 腔室 架设 室外 贯穿 外部 应用 | ||
【主权项】：
1.一种燃料电池双极板碳涂层的多腔体沉积系统，其特征在于，主要包括：进片室（1）、离子清洗室（2）、PVD工艺室组（3）、过渡室（4）、PECVD工艺室组（5）、冷却室（6）以及出片室（6），各腔室按顺序通过门阀串联在一起；各腔室内底部设有传送装置（9），串联贯穿于整个沉积系统；样品架（8）设在所述的传送装置（9）上；各腔体顶部设有导向装置（20）；所述传送装置（9）的上端设有偏压滚轮（21）和外部偏压电源相连，将偏压接入所述样品架（8）上；所述的离子清洗室（2）、PVD工艺室组（3）、过渡室（4）、PECVD工艺室组（5）和冷却室（6）的底部均设有抽气口（10），还分别配备有独立的真空系统以及气路系统。
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