[发明专利]图案描绘装置

摘要

曝光装置EX，其具有将根据描绘资料调变的光束(LB)投射至基板(P)上的曝光头部(14)，藉由使基板(P)移动于副扫描方向，于基板(P)上描绘对应描绘资料的图案。曝光装置(EX)具备描绘控制部(100)，其将待描绘于基板(P)的图案在副扫描方向的描绘倍率的变更位置，与以测量机构测量基板(P)的移动量变化的测量机构所测量的移动量对应地设定，在描绘倍率的变更位置设定在排列于副扫描方向的复数个像素中的特定像素的副扫描方向途中的情形，将在副扫描方向中特定像素的一个前的像素的描绘完毕的位置作为新变更位置，修正以测量机构测量的移动量与像素的尺寸的对应关系，而设定至描绘倍率的次一变更位置为止从描绘资料储存部(108)读出的像素资料的位址。

主权项

1.一种图案描绘装置，其具有将根据描绘资料调变的光束的点在基板上扫描于主扫描方向的曝光头部，藉由使所述基板移动于副扫描方向，于所述基板上描绘对应所述描绘资料的图案，其具备：旋转多边形镜，使所述光束在复数个反射面的各个依序反射而扫描于主扫描方向；原点感测器，在所述旋转多边形镜的各反射面每次成为既定角度位置时，产生表示所述光束的描绘开始时点的原点脉冲信号；资料储存部，在将待描绘于所述基板上的所述图案以在所述主扫描方向与所述副扫描方向的二维方向分解的复数个像素表示时，将与所述复数个像素的各个对应的像素资料，储存为依所述点的扫描顺序排列的像素资料行；以及控制部，响应于第1所述原点脉冲信号，至次一第2所述原点脉冲信号产生为止的期间，执行进行储存于所述资料储存部的待描绘的所述像素资料行的指定与既定运算的准备处理，并响应于所述第2所述原点脉冲信号，根据已进行所述准备处理的所述像素资料行开始透过所述点的描绘动作。