[发明专利]图案描绘装置

权利要求书

1.一种图案描绘装置，其具有将根据描绘资料调变的光束的点在基板上扫描于主扫描方向的曝光头部，藉由使所述基板移动于副扫描方向，于所述基板上描绘对应所述描绘资料的图案，其具备：

旋转多边形镜，使所述光束在复数个反射面的各个依序反射而扫描于主扫描方向；

原点感测器，在所述旋转多边形镜的各反射面每次成为既定角度位置时，产生表示所述光束的描绘开始时点的原点脉冲信号；

资料储存部，在将待描绘于所述基板上的所述图案以在所述主扫描方向与所述副扫描方向的二维方向分解的复数个像素表示时，将与所述复数个像素的各个对应的像素资料，储存为依所述点的扫描顺序排列的像素资料行；以及

控制部，响应于第1所述原点脉冲信号，至次一第2所述原点脉冲信号产生为止的期间，执行进行储存于所述资料储存部的待描绘的所述像素资料行的指定与既定运算的准备处理，并响应于所述第2所述原点脉冲信号，根据已进行所述准备处理的所述像素资料行开始透过所述点的描绘动作。

2.如权利要求1所述的图案描绘装置，其中，

所述控制部，是将与所述副扫描方向的描绘倍率的修正相关的运算及与所述主扫描方向的描绘倍率的修正相关的运算、以及所述图案在所述主扫描方向的描绘位置的位移相关的运算中的至少一个，作为所述既定运算来执行。

3.如权利要求2所述的图案描绘装置，其中，

所述描绘位置的位移相关的运算，是运算自所述第2所述原点脉冲信号的发生时点，至开始透过所述点的描绘动作的延迟时间。

4.一种图案描绘装置，具有将描绘射束的点在基板上反复扫描于主扫描方向的描绘头部，藉由使所述基板与所述描绘头部相对移动于副扫描方向，而于所述基板上描绘图案，其具备：

检测感测器，每于所述反复扫描时，输出表示所述描绘射束的点已成为所述主扫描方向的扫描开始位置一事的检测信号；

资料储存部，将与在所述点被扫描于所述主扫描方向的期间待描绘的所述图案对应的描绘资料在所述副扫描方向储存复数个；以及

控制部，是以下述方式进行控制：在从所述检测感测器输出的第1所述检测信号与在其后输出的第2所述检测信号间的期间，执行响应储存于所述资料储存部的所述第2所述检测信号而准备待描绘的所述描绘资料的准备处理，并根据响应所述第2所述检测信号而已进行所述准备处理的所述描绘资料执行透过所述点的所述图案的描绘。

5.如权利要求4所述的图案描绘装置，其中，

所述资料储存部，将待描绘于所述基板上的所述图案分割成二维像素，将与在所述主扫描方向排列的一行量的像素的各个对应的像素资料行储存为所述描绘资料，且将所述像素资料行的复数行与排列于所述副扫描方向的像素对应地储存。

6.如权利要求5所述的图案描绘装置，其中，

所述控制部，包含在从所述第2所述检测信号的产生起经过既定延迟时间后，根据已进行所述准备处理的所述像素资料行开始所述描绘射束的强度调变的调变器。

7.如权利要求6所述的图案描绘装置，其中，

所述描绘头部包含旋转多面镜，该旋转多面镜具有用以将以所述调变器调变强度后的所述描绘光束偏向于所述主扫描方向的复数个反射面；

所述检测感测器，包含对所述旋转多面镜的反射面照射检测用光束的送光系与接收所述检测用光束在所述旋转多面镜的反射面的反射射束并输出所述检测信号的受光系；

所述受光系，在所述旋转多面镜的复数个反射面的各个成为既定角度时输出所述检测信号。

8.如权利要求7所述的图案描绘装置，其中，

所述控制部，是藉由所述延迟时间的调整使在所述主扫描方向的所述图案的描绘位置位移。

9.如权利要求4至8项中任一项所述的图案描绘装置，其进一步具备脉冲光源装置，所述脉冲光源装置包含：脉冲光源部，为了生成所述描绘射束而产生以既定频率振荡成脉冲状的种光；放大所述种光的光放大器；以及波长转换元件，射入经所述放大的种光而生成紫外波长区的脉冲光。