[发明专利]一种持久耐用具有抗菌功能的硬质涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201910481662.8 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110144561A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 黄惠;黄兴;王磊;黄亮 | 申请（专利权）人： | 东莞市和荣纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 新余市渝星知识产权代理事务所(普通合伙) 36124 | 代理人： | 廖平 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及硬质涂层技术领域，具体公开了一种持久耐用具有抗菌功能的硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：将工件经清洗后放入真空室内的旋转样品架中，利用机械泵和涡轮分子泵将腔室抽至高真空；在真空室的外壁安装矩形磁控靶，所述磁控靶为六个，靶材用纯钨或钼，其中一个靶材用银或铜，相邻磁控靶的磁极相反；采用高纯氩气作为工作气体，高纯氧气作为反应气体进行溅射过程，在基材表面最终形成氧化钨或氧化钼涂层，并在涂层中镶嵌有银或铜的纳米颗粒。该持久耐用具有抗菌功能的硬质涂层的制备方法，采用反应溅射的方法，在不同基材上制备金属氧化物涂层，具有优良的抗菌性能。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质涂层 抗菌功能 制备 磁控靶 靶材 制备金属氧化物 矩形磁控靶 涡轮分子泵 磁极相反 反应溅射 反应气体 高纯氧气 高纯氩气 工作气体 基材表面 抗菌性能 纳米颗粒 外壁安装 高真空 机械泵 氧化钨 氧化钼 样品架 真空室 纯钨 放入 基材 溅射 腔室 用银 清洗 镶嵌 室内 | ||
【主权项】：
1.一种持久耐用具有抗菌功能的硬质涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：将工件经清洗后放入真空室内的旋转样品架中，利用机械泵和涡轮分子泵将腔室抽至高真空；步骤二：在真空室的外壁安装矩形磁控靶，所述磁控靶为六个，靶材用纯钨或钼，其中一个靶材用银或铜，对称排列，带水冷，相邻磁控靶的磁极相反，利用脉冲电源施加偏压；步骤三：采用高纯氩气作为工作气体，高纯氧气作为反应气体进行溅射过程，在基材表面最终形成氧化钨或氧化钼涂层，并在涂层中镶嵌有银或铜的纳米颗粒，利用压强控制器保持溅射过程的气压稳定，使涂层成分在膜厚方向保持恒定。
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