[发明专利]压力控制方法及系统在审
| 申请号： | 201910470037.3 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN112017934A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 耿宏伟;李强;白志民;顾文亮;李雷 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力控制方法及系统，用于对传输平台中的腔室进行压力控制，该方法包括以下步骤：S1：对所述腔室进行本底抽气，直至所述腔室的压力达到预设本底压力值；S2：向所述腔室充气，在第一设定时间后停止充气；S3：以预定抽气速度对所述腔室进行抽气，直至所述腔室中的压力达到目标压力值为止。通过本发明，降低了传输平台的压力控制成本。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
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