[发明专利]基于石墨烯纳晶碳膜电极的微型超级电容器的制造方法在审
| 申请号： | 201910468526.5 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110136996A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 郭美玲;王成;李言;杨明顺;王权岱;李鹏阳;杨振朝 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | H01G11/84 | 分类号： | H01G11/84;H01G11/86;H01G11/26;H01G11/36 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 涂秀清 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯纳晶碳膜电极的微型超级电容器的制造方法，具体包括以下步骤：步骤1、将表层带有SiO2的Si基体超声清洗，之后利用磁控溅射设备在基体表面溅射沉积Au薄膜作为微型超级电容器的集流体；步骤2、将溅射有Au薄膜的SiO2/Si基体置于ECR等离子体加工系统的基片架上并装入真空腔体沉积石墨烯纳晶碳膜作为微型超级电容器的电极材料；步骤3、在制备好的两片石墨烯纳晶碳膜表面滴加配置好的PVA/H3PO4电解液后面对面组装，然后室温条件下放置10～12h，待电解液干燥成膜后得到石墨烯纳晶碳膜基微型超级电容器；解决了现有的石墨烯基微型超级电容器电极与集流体间的兼容性相对较差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微型超级电容器 石墨烯 纳晶 碳膜电极 电解液 集流体 碳膜 薄膜 磁控溅射设备 超声清洗 电极材料 干燥成膜 基体表面 加工系统 溅射沉积 石墨烯基 室温条件 碳膜表面 真空腔体 基片架 兼容性 电极 滴加 溅射 沉积 制备 装入 制造 下放 组装 配置 | ||
【主权项】：
1.基于石墨烯纳晶碳膜电极的微型超级电容器的制造方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：步骤1、将表层带有SiO2的Si基体超声清洗，之后利用磁控溅射设备在基体表面溅射沉积Au薄膜作为微型超级电容器的集流体；步骤2、将溅射有Au薄膜的SiO2/Si基体置于ECR等离子体加工系统的基片架上并装入真空腔体沉积石墨烯纳晶碳膜作为微型超级电容器的电极材料；步骤3、在制备好的两片石墨烯纳晶碳膜表面滴加配置好的PVA/H3PO4电解液后面对面组装，然后室温条件下放置10～12h，待电解液干燥成膜后得到石墨烯纳晶碳膜基微型超级电容器。
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