[发明专利]微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法

摘要

本发明公开了微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法，其工具头的端面上加工微半球凹模阵列，工具头下端与球模导向板相连接，单个凹模的直径大于或等于发射球体直径，在工件放置台装有实时监控的恒力装置，球体做研抛模与工件之间的Z轴方向的运功或者沿着自身球心转动；在研抛模与工件表面之间充满研抛液，研抛模在导向板上表面做高频微细超声振动，超声振动激发球提与磨粒高速冲击工件表面，形成微半球凹坑。本发明通过微超声研抛模的振动，激发球体与研抛液中纳米级磨粒对碳化硅工件表面的高频冲击，以实现对材料的去除。极大地提高微半球凹模阵列的加工效率，并通过气泡调控的方式，保证了凹模的形状一致性。

主权项

1.微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、制作微超声研抛模：所述研抛模包括工具连杆、恒力装置、球模导向板、球体，工具连杆包括上端变幅杆与下端工具头，变幅杆的上端与细微超声振动装置相连接，所述工具连杆的下端工具头的端面上加工有数量为a×b微半球凹模阵列，工具头下端与球模导向板相连接，单个凹模的直径大于或等于发射球体直径，在工件放置台装有实时监控的恒力装置，S2、导向板上有n×m的阵列孔，孔数大于研抛模的凹模数，孔径大于球体直径，球体水平方向的运动被所述导向板限制，球体做研抛模与工件之间的Z轴方向的运功或者沿着自身球心转动；S3、在研抛模与工件表面之间充满研抛液，研抛液中的磨粒为纳米级复合颗粒，研抛模在导向板上表面的上方0至几毫米的距离内做高频微细超声振动，超声振动激发球提与磨粒高速冲击工件表面，形成微半球凹坑。