[发明专利]微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法

权利要求书

1.微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、制作微超声研抛模：所述研抛模包括工具连杆、恒力装置、球模导向板、球体，工具连杆包括上端变幅杆与下端工具头，变幅杆的上端与细微超声振动装置相连接，所述工具连杆的下端工具头的端面上加工有数量为a×b微半球凹模阵列，工具头下端与球模导向板相连接，单个凹模的直径大于或等于发射球体直径，在工件放置台装有实时监控的恒力装置，

S2、导向板上有n×m的阵列孔，孔数大于工具头的凹模数，孔径大于球体直径，球体水平方向的运动被所述导向板限制，球体做研抛模与工件之间的Z轴方向的运功或者沿着自身球心转动；

S3、在工具头与工件表面之间充满研抛液，研抛液中的磨粒为纳米级复合颗粒，工具头在导向板上表面的上方0至1.5毫米的距离内做高频微细超声振动，超声振动激发球体与磨粒高速冲击工件表面，形成微半球凹坑；

研抛液通过5％光亮剂、5％磨粒、5％稳定剂与分散剂，1％凡士林，84％煤油配置，研抛液中的磨粒为基于纳米粒子的复合磨粒。

2.如权利要求1所述的微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法，其特征在于，所述球模导向板的固定方法如下：

导向板通过亲脂疏水类粘结剂固定在工件上，通过粘结剂的厚度来确定导向板与工件之间的距离。

3.如权利要求1所述的微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法，其特征在于，S3中采用多域可控的方法限制空化泡的产生。

4.如权利要求1所述的微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法，其特征在于，所述球体为自由球体，球体不与导向板、工具头和工件固定，所述球体为硬质塑性球体。

5.如权利要求3所述的微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法，其特征在于，采用调节超声波频率与强度、改变研抛液的粘度与温度对空化泡产生进行限制。

6.如权利要求1所述的微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法，其特征在于，所述工件的固定方式为：通过石蜡将工件固定在工件放置台上。