[发明专利]用于保持基板的保持装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于基板(101)的保持装置(100)，特别是卡盘，包括：具有上面(105)的主体(103)；载体元件(107)，其中载体元件(107)被布置在主体(103)的凹部(109)中以便可垂直移动，使得它可以在突出的装载位置和缩回的夹紧位置之间调节，并且其中载体元件(107)包括：用于放置基板(101)的支撑表面(111)，其中支撑表面(111)具有比主体(103)的直径更小的直径；以及将载体元件(107)提升到装载位置的提升元件，其中，载体元件(107)将凹部(109)密封，使得在主体(103)和载体元件(107)之间设置密封腔(113)，该腔(113)可以具有施加于此的负压，其抵消了提升元件的影响。

主权项

1.一种用于基板(101)的保持装置(100)，特别是卡盘，包括：/n主体(103)，所述主体(103)包括上面(105)，/n载体元件(107)，其中，所述载体元件(107)被布置在所述主体(103)的凹部(109)中以便可垂直移动，使得载体元件(107)可以在突出的装载位置和缩回的夹紧位置之间调节，并且其中，所述载体元件(107)包括用于放置所述基板(101)的支撑表面(111)，其中，所述支撑表面(111)具有比所述主体(103)的直径更小的直径，以及/n提升元件，所述提升元件将所述载体元件(107)升高到所述装载位置，/n其中，所述载体元件(107)将所述凹部(109)密封，使得在所述主体(103)和所述载体元件(107)之间提供密封腔(113)，所述腔可以具有施加于此的负压，所述负压抵消了所述提升元件的影响，并且/n其中，设置有间隔件(117a，117b)，所述间隔件(117a，117b)限定了所述载体元件(107)的夹紧位置，在所述夹紧位置，所述载体元件(107)的支撑表面(111)被布置为与所述主体(103)的上面(105)基本齐平。/n