[发明专利]基于MEMS的三轴一体化电化学地震检波器有效
| 申请号： | 201910405291.5 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN110068858B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 陈德勇;齐文杰;王军波;许超;郑希宸;刘博文;陈健 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01V1/18 | 分类号： | G01V1/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种一种基于MEMS的三轴一体化电化学地震检波器，包括：外壳，为正六面体；橡胶膜，分别覆盖在所述外壳的各个表面，且分别与各面形成容纳空间；第一流道、第二流道、第三流道，为互相垂直且垂直贯穿所述外壳表面的流道；敏感电极，分别置于所述第一流道、第二流道和第三流道内；电解质溶液，分别充满于所述第一流道、第二流道和第三流道与各所述容纳空间形成的密封腔内。本发明采用了全新的结构设计，使其更精确保证了三个轴向间的正交性；并且不需要辅助结构，减小了检波器的体积和重量，同时可使得在相同体积的检波器中实现更长长度的流道，提升了检波器的低频性能。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 一体化 电化学 地震 检波器 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS的三轴一体化电化学地震检波器，其特征在于，包括：外壳(1)，为正六面体；橡胶膜(2)，分别覆盖在所述外壳(1)的各个表面，且分别与各面形成容纳空间；第一流道(5)、第二流道(6)、第三流道(7)，为互相垂直且垂直贯穿所述外壳(1)表面的流道；敏感电极(3)，分别置于所述第一流道(5)、第二流道(6)和第三流道(7)内；电解质溶液(4)，分别充满于所述第一流道(5)、第二流道(6)和第三流道(7)与各所述容纳空间形成的密封腔内。
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