[发明专利]一种N型选择性发射极太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明提供了一种N型选择性发射极太阳能电池的制造方法，该制造方法包括：提供N型衬底，并在该N型衬底的表面形成绒面结构；对N型衬底的正面进行扩散以形成P++扩散层；去除N型衬底非电极区域内一定厚度的P++扩散层，以在N型衬底的电极区域内形成P++掺杂区以及在非电极区域内形成P+掺杂区；在N型衬底的背面形成N++掺杂层；在N型衬底的正面从下至上形成钝化层和第一减反射层、以及在N型衬底的背面形成第二减反射层；在N型衬底的正面和背面分别形成正面电极和背面电极，其中，正面电极透过第一减反射层和钝化层与P++掺杂区形成欧姆接触，背面电极透过第二减反射层与N++掺杂层形成欧姆接触。本发明还提供了一种N型选择性发射极太阳能电池。

主权项

1.一种N型选择性发射极太阳能电池的制造方法，该制造方法包括：提供N型衬底，并在该N型衬底的表面形成绒面结构；对所述N型衬底的正面进行扩散以形成P++扩散层；去除所述N型衬底非电极区域内一定厚度的所述P++扩散层，以在所述N型衬底的电极区域内形成P++掺杂区以及在所述非电极区域内形成P+掺杂区；在所述N型衬底的背面形成N++掺杂层；在所述N型衬底的正面从下至上形成钝化层和第一减反射层、以及在所述N型衬底的背面形成第二减反射层；在所述N型衬底的正面和背面分别形成正面电极和背面电极，其中，所述正面电极透过所述第一减反射层和所述钝化层与所述P++掺杂区形成欧姆接触，所述背面电极透过所述第二减反射层与所述N++掺杂层形成欧姆接触。