[发明专利]基于力传感器和杠杆式倾斜台的工件表面调平装置及方法有效

专利信息
申请号: 201910380973.5 申请日: 2019-05-08
公开(公告)号: CN110156339B 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 佟浩;姬波林;李俊杰;李勇;普玉彬 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00;C04B41/80
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 张润
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种基于力传感器和杠杆式倾斜台的工件表面调平装置及方法,其中,装置包括:触发组件、夹具、杠杆式倾斜台、力传感器和控制器,其中,安装好工件后,向下进给触发组件,直至力传感器发出接触信号,实现工件表面的对准并得到此点的Z轴位置坐标,工件表面沿X方向选取两点A和B,分别通过对准过程测量得到Z轴位置坐标;回退触发组件,调节倾斜台使工件表面沿X方向倾斜一定角度,分别得到倾斜后A、B点的Z轴位置坐标;根据调平算法来计算得到调整目标值;调节倾斜台,使A、B点Z轴位置坐标到达目标值,即完成工件表面沿X方向的精确调平,同理,也可可以完成工件表面沿Y方向的精确调平,从而实现工件表面精确调平。
搜索关键词: 基于 传感器 杠杆 倾斜 工件 表面 平装 方法
【主权项】:
1.一种基于力传感器和杠杆式倾斜台的工件表面调平装置,其特征在于,包括:触发组件;夹具,所述夹具与工件相连,以装夹所述工件;杠杆式倾斜台,用于调节所述工件的工件表面倾斜度;力传感器,所述力传感器设置于所述工件和所述杠杆式倾斜台之间,以反馈所述触发组件接触所述工件表面的接触信号;以及控制器,用于控制向下进给所述触发组件,直至所述力传感器发出所述接触信号,以对所述工件表面进行对准,并得到当前点的Z轴位置坐标,并在工件表面沿X方向选取第一点A和第二点B,以分别通过对准过程测量对应的第一Z轴位置坐标,回退所述触发组件,调节所述倾斜台,使得所述工件表面沿所述X方向倾斜预设角度,并且分别得到倾斜后所述第一点A和所述第二点B点对应的第二Z轴位置坐标,以及根据调平算法来计算得到调整目标值,根据所述调整目标值调节所述杠杆式倾斜台,使所述第一点A和所述第二点B点对应的Z轴位置坐标到目标值,完成所述工件表面沿所述X方向的调平,并完成所述工件表面沿Y方向的调平。
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