[发明专利]具有自检测功能的半导体装置在审
| 申请号： | 201910376525.8 | 申请日： | 2019-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN110455876A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 张兆宏;李致纬;许晋嘉;梁俊智;何志铭;蔡瑜津;李玮恩;蓝哲维 | 申请（专利权）人： | 亿光电子工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/20 | 分类号： | G01N27/20 |
| 代理公司： | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴志红;臧建明<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有自检测功能的半导体装置,属于半导体装置技术领域，其包括设置在基板上的壳体、设置在壳体内的激光发射器以及设置在壳体上的盖体；盖体设置在壳体的开口处，包括微透镜阵列及透光层；透光层设置有至少一层导电层，且透光层出现划痕时，导电层的电阻值增大；导电层与检测电路连通，检测电路中设置有用于检测导电层的电阻阻值变化的检测单元。本发明提供的具有自检测功能的半导体装置，当盖体出现划痕及破损失时，导电层的电阻逐渐增大，根据此特性通过检测导电层的电阻变化以检测盖体是否出现破损，可提升盖体破损检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 导电层 盖体 透光层 电阻 壳体 半导体装置 自检测功能 检测电路 划痕 检测 破损 半导体装置技术 激光发射器 微透镜阵列 电阻变化 破损检测 逐渐增大 阻值变化 检测盖 开口处 基板 连通 体内 | ||
【主权项】：
1.一种具有自检测功能的半导体装置，其特征在于，包括设置在基板上的壳体、设置在所述壳体内的激光发射器以及设置在壳体上的盖体；/n所述盖体设置在所述壳体的开口处，包括微透镜阵列及透光层；以及/n所述透光层设置有至少一层导电层，且所述透光层出现划痕时，所述导电层的电阻值增大；所述导电层与检测电路连通，所述检测电路中设置有用于检测所述导电层的电阻阻值变化的检测单元。/n
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