[发明专利]形状测定用探头有效
申请号: | 201910373464.X | 申请日: | 2019-05-06 |
公开(公告)号: | CN110514136B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 田中仁;舟桥隆宪;佐佐木亘 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B5/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 齐秀凤 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种形状测定用探头,形状测定用探头具有可动构件、触针、空气轴承、第1磁铁、第2磁铁、第1支承部、第2支承部以及弹性件。第1磁铁和第2磁铁相对于可动构件的轴中心大致对称地固定在空气轴承的上端部。第1支承部通过磁力与第1磁铁连结。第2支承部通过磁力与第2磁铁连结。弹性件为板状,粘接固定于可动构件的上端部,并且载置在第1支承部和第2支承部上。 | ||
搜索关键词: | 形状 测定 探头 | ||
【主权项】:
1.一种形状测定用探头,具备:/n棒状的可动构件,在上端具有反射激光的反射面;/n触针,设置在所述可动构件的下端,与物体接触;/n空气轴承,具有轴孔,使所述可动构件贯通所述轴孔且能够沿第1方向移动地进行支承;/n第1磁铁和第2磁铁,相对于所述可动构件的轴中心大致对称地固定在所述空气轴承的上端部;/n第1支承部,能够在所述第1磁铁上移动地通过磁力与所述第1磁铁连结,该第1支承部为球形状且为磁性体;/n第2支承部,能够在所述第2磁铁上移动地通过磁力与所述第2磁铁连结,该第2支承部为球形状且为磁性体;以及/n板状的弹性件,粘接固定于所述可动构件的上端部,并且载置于所述第1支承部与所述第2支承部上。/n
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