[发明专利]形状测定用探头

权利要求书

1.一种形状测定用探头，具备：

棒状的可动构件，在上端具有反射激光的反射面；

触针，设置在所述可动构件的下端，与物体接触；

空气轴承，具有轴孔，使所述可动构件贯通所述轴孔且能够沿第1方向移动地进行支承；

第1磁铁和第2磁铁，相对于所述可动构件的轴中心大致对称地固定在所述空气轴承的上端部；

第1支承部，能够在所述第1磁铁上移动地通过磁力与所述第1磁铁连结，该第1支承部为球形状且为磁性体；

第2支承部，能够在所述第2磁铁上移动地通过磁力与所述第2磁铁连结，该第2支承部为球形状且为磁性体；以及

板状的弹性件，粘接固定于所述可动构件的上端部，并且载置于所述第1支承部与所述第2支承部上。

2.根据权利要求1所述的形状测定用探头，其中，

在所述第1磁铁与所述第1支承部之间配置第1磁性体，通过所述第1磁铁的磁力经由所述第1磁性体而在所述第1支承部支承所述弹性件，

在所述第2磁铁与所述第2支承部之间配置第2磁性体，通过所述第2磁铁的磁力经由所述第2磁性体而在所述第2支承部支承所述弹性件。

3.根据权利要求1所述的形状测定用探头，其中，

在所述第1磁铁与第1支承部之间配置第1非磁性体，通过所述第1磁铁的磁力经由所述第1非磁性体而在所述第1支承部支承所述弹性件，

在所述第2磁铁与第2支承部之间配置第2非磁性体，通过所述第2磁铁的磁力经由所述第2非磁性体而在所述第2支承部支承所述弹性件。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的形状测定用探头，其中，

所述第1磁铁以及所述第2磁铁的上端面为平面，所述第1支承部以及所述第2支承部为钢球。

5.根据权利要求1所述的形状测定用探头，其中，

所述空气轴承具有第1凹部和第2凹部，

所述第1支承部的至少一部分和所述第1磁铁配置在所述第1凹部，

所述第2支承部的至少一部分和所述第2磁铁配置在所述第2凹部。