[发明专利]电子显微镜中的EELS检测技术在审
| 申请号： | 201910366287.2 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110455833A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | B.H.弗雷塔;S.拉扎;S.库雅瓦;M.奎佩;G.N.A.万维恩;P.C.缇梅耶;J.麦克马克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;H01J37/26 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张凌苗;申屠伟进<国际申请>=<国际公布 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 电子显微镜中的EELS检测技术。一种在电子显微镜中执行电子能量损耗光谱法(EELS)的方法，其包括：在样本固持器上提供样本；从源产生电子束；使用照明器来引导所述电子束以照射所述样本；使用成像系统来接收透射穿过所述样本的电子通量并将其引导到光谱设备上，所述光谱设备包括：分散装置，其用于在分散方向上分散所述通量以形成EELS光谱；检测器，其包括检测表面，所述检测表面被细分为多个检测区，所述方法具体包括：使用至少第一检测区、第二检测区和第三检测区来登记多个EELS光谱实体；在所述第三检测区正登记所述多个EELS光谱实体之一的同时，读出所述第一和所述第二检测区。 | ||
| 搜索关键词： | 检测区 样本 光谱 电子束 电子显微镜 第二检测 光谱设备 检测表面 检测器 成像系统 电子能量 电子通量 分散方向 分散装置 检测技术 损耗光谱 固持器 照明器 透射 通量 读出 照射 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种在电子显微镜中执行电子能量损耗光谱法(EELS)的方法，其包括：/n在样本固持器上提供样本；/n从源产生电子束；/n使用照明器来引导所述电子束以照射所述样本；/n使用成像系统来接收透射穿过所述样本的电子通量并将其引导到光谱设备上，所述光谱设备包括：/n分散装置，其用于在分散方向上分散所述通量以形成EELS光谱；/n检测器，其包括检测表面，所述检测表面被细分为多个检测区，/n特征在于：/n使用至少第一检测区、第二检测区和第三检测区来连续地登记多个EELS光谱实体；/n在所述第三检测区正记录所述多个EELS光谱实体之一的同时，读出所述第一和所述第二检测区。/n
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