[发明专利]一种压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910354117.2 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN110118624A | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 易成汉;何可;许述达;王恒;史胜;陈明;李伟民;马鹏常;杨春雷 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人： | 周雷 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压力传感器及其制备方法，压力传感器通过第一电极板的第一衬底表面设有粗糙叉指电极，第二电极板使用石墨烯/PMDS混合材料或者石墨烯/PI混合材料形成第二衬底和微结构阵列，叉指电极的粗糙表面和微结构阵列相抵触连接。其中的压力传感器第二电极板使用石墨烯/PMDS混合材料或者石墨烯/PI混合材料形成第二衬底和微结构阵列一体化，使得制得的压力传感器的稳定性大大提升，使用寿命也有了很大提高，同时压力传感器的反应速度也有了很大的提高，该压力传感器的结构简单，其制备工艺难度低，易于大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 混合材料 石墨烯 微结构阵列 电极板 叉指电极 衬底 制备 衬底表面 粗糙表面 抵触连接 使用寿命 制备工艺 粗糙 一体化 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，所述压力传感器包括相对设置的第一电极板和第二电极板，其特征在于，所述第一电极板包括第一衬底以及设置在所述第一衬底一个表面上的金属叉指电极，所述金属叉指电极具有粗糙表面；所述第二电极板包括第二衬底，所述第二衬底的一个表面具有微结构阵列，所第二衬底的材料包括石墨烯/PI混合材料或石墨烯/PDMS混合材料；其中，所述微结构阵列与所述粗糙表面相互抵触连接。
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