[发明专利]固定连接部件、研磨头组件及抛光设备有效
| 申请号： | 201910347208.3 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110026889B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 季文明 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00;F16B35/06 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种固定连接部件、研磨头组件及抛光设备，固定连接部件包括：内六角紧固件；外六角治具，与内六角紧固件相连接，且至少部分位于内六角紧固件的顶部。本发明的固定连接部件通过增设外六角治具，可以在狭小的空间内使用开口扭矩扳手将固定连接部件拧紧，当固定连接部件用于研磨头组件时，可以将每个固定连接部件固定扭力拧紧，确保抛光产品的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 连接 部件 研磨 组件 抛光 设备 | ||
【主权项】：
1.一种固定连接部件，其特征在于，包括：内六角紧固件；及外六角治具，与所述内六角紧固件相连接，且至少部分位于所述内六角紧固件的顶部。
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