[发明专利]固定连接部件、研磨头组件及抛光设备

说明书

本发明提供一种固定连接部件、研磨头组件及抛光设备，固定连接部件包括：内六角紧固件；外六角治具，与内六角紧固件相连接，且至少部分位于内六角紧固件的顶部。本发明的固定连接部件通过增设外六角治具，可以在狭小的空间内使用开口扭矩扳手将固定连接部件拧紧，当固定连接部件用于研磨头组件时，可以将每个固定连接部件固定扭力拧紧，确保抛光产品的一致性。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，特别是涉及一种固定连接部件、研磨头组件及抛光设备。

背景技术

在现有的抛光设备中，下研磨头本体与固定于其下表面的抛光布固定盘经由内六角螺丝固定连接，而由于所述下研磨头本体与位于其上方的上研磨头单元之间的间隙较小，无法使用扭力扳手作业，一般均依靠人力来拧紧所述内六角螺丝。然而，由于每个人的感觉不一致，每一次拧紧手法也不一致，会导致所述内六角螺丝的拧紧程度不一致，从而使得所述抛光布固定盘与所述下研磨头本体之间的紧固程度不一致，进而造成抛光的产品一致性较差的问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种固定连接部件、研磨头组件及抛光设备，用于解决现有抛光设备中采用内六角螺丝将下研磨头本体与固定于其下表面的抛光布固定盘进行固定连接而存在的内六角螺丝只能采用人力拧紧，由于每个人的感觉不一致，每一次拧紧手法也不一致，会导致所述内六角螺丝的拧紧程度不一致，从而使得所述抛光布固定盘与所述下研磨头本体之间的紧固程度不一致，进而造成抛光的产品一致性较差的问题。

本发明提供一种固定连接部件，用于辅助实现内六角紧固件的拧紧，所述固定连接部件包括：

内六角紧固件；及

外六角治具，与所述内六角紧固件相连接，且至少部分位于所述内六角紧固件的顶部。

可选地，所述内六角紧固件包括螺杆及内六角螺丝头，所述内六角螺丝头内设有上下延伸的螺纹孔，所述螺纹孔内设有内螺纹；所述外六角治具包括外六角螺杆，所述外六角螺杆的直径与所述螺纹孔的直径相同，所述外六角螺杆的下部包括外螺纹部，所述外螺纹部设有与所述螺纹孔内的所述内螺纹相匹配的外螺纹；所述外六角治的下部旋置于所述螺纹孔内。

可选地，所述内六角紧固件包括第一螺杆及内六角螺丝头，所述内六角螺丝头内设有上下延伸的螺纹孔，所述螺纹孔内设有内螺纹；所述外六角治具包括外六角螺丝，所述外六角螺丝包括第二螺杆及与所述第二螺杆顶部固定连接的外六角螺丝头，所述第二螺杆的直径与所述螺纹孔的直径相同，所述外六角螺丝头的直径大于所述第二螺杆的直径，所述第二螺杆上设有与所述螺纹孔内的所述内螺纹相匹配的外螺纹，所述第二螺杆旋置于所述螺纹孔内。

可选地，所述外六角螺丝还包括保护环，所述保护环，所述保护环设置于所述外六角螺丝头及所述第二螺杆的外围，且所述保护环沿厚度方向自所述外六角螺丝头的顶部延伸至所述第二螺杆的底部；所述保护环的内径与所述外六角螺丝头的直径相同，且不小于所述内六角螺丝头的直径。

可选地，所述内六角紧固件包括第一螺杆及内六角螺丝头，所述内六角螺丝头内设有上下延伸的螺纹孔，所述螺纹孔内设有内螺纹；所述外六角治具包括外六角螺丝，所述外六角螺丝包括由下至上依次叠置的第二螺杆、圆柱杆、扳手托及外六角螺丝头，所述第二螺杆的直径与所述螺纹孔的直径相同，所述外六角螺丝头的直径大于所述第二螺杆的直径，所述第二螺杆上设有与所述螺纹孔内的所述内螺纹相匹配的外螺纹，所述第二螺杆旋置于所述螺纹孔内。

可选地，所述圆柱杆的直径与所述内六角螺丝头的直径相同，所述扳手托的直径大于所述圆柱杆的直径，所述外六角螺丝头的直径小于所述扳手托的直径。

可选地，所述圆柱杆的高度包括1毫米～8毫米。

本发明还提供一种研磨头组件，所述研磨头组件包括：

上研磨头单元；