[发明专利]一种降低L波段铜膜声表面波滤波器电装失效率的方法在审
| 申请号： | 201910343669.3 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110086446A | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 刘璐;黄歆;兰则超;闫坤坤;黄玮;张雅 | 申请（专利权）人： | 北京中科飞鸿科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;郑哲 |
| 地址： | 100095 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种降低L波段铜膜声表面波滤波器电装失效率的方法，包括：采用梯形或纵向耦合设计结构，并根据声表面波滤波器的性能指标设计叉指换能器形貌，然后，在选定的压电基片上利用光刻工艺形成相应的叉指换能器图形；在所述叉指换能器图形上依次蒸镀铜膜和一定厚度的铝膜，并通过剥离工艺制备出完整的叉指换能器的电极形貌。该方法可以降低L波段铜膜声表面波滤波器回流焊电装前后的失效率。 | ||
| 搜索关键词： | 声表面波滤波器 叉指换能器 铜膜 失效率 电装 形貌 性能指标设计 剥离工艺 电极形貌 光刻工艺 设计结构 压电基片 纵向耦合 回流焊 铝膜 蒸镀 制备 | ||
【主权项】：
1.一种降低L波段铜膜声表面波滤波器电装失效率的方法，其特征在于，包括：采用梯形或纵向耦合设计结构，并根据声表面波滤波器的性能指标设计叉指换能器形貌，然后，在选定的压电基片上利用光刻工艺形成相应的叉指换能器图形；在所述叉指换能器图形上依次蒸镀铜膜和一定厚度的铝膜，并通过剥离工艺制备出完整的叉指换能器的电极形貌。
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