[发明专利]电磁透镜组中带电粒子束的控制方法及系统在审
| 申请号： | 201910339992.3 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN111863572A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 张劲;陈炯;夏世伟 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体股份有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/141 | 分类号： | H01J37/141;G05B13/04 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦;李梦男 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电磁透镜组中带电粒子束的控制方法及系统。所述控制方法包括：获取多组电磁透镜组的工作数据和多组粒子束的质量数据；基于多目标优化模型对多组工作数据和多组质量数据执行迭代优化，得到最优解集；所述多目标优化模型的决策变量包括：所述工作数据中的至少一个参数和/或所述质量数据中的至少一个参数；所述多目标优化模型的优化目标包括所述粒子束的运动参数；根据所述最优解集控制所述电磁透镜组。本发明通过调节透镜组的多个工作参数、粒子束的质量参数实现对带电粒子束的运动状态的控制，不依赖于电极的具体组态，适用于任意组态的电极的透镜组，普适性好，且能实现精准控制。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁透镜 带电 粒子束 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
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