[发明专利]电磁透镜组中带电粒子束的控制方法及系统

权利要求书

1.一种电磁透镜组中带电粒子束的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：

获取多组电磁透镜组的工作数据和多组粒子束的质量数据；

基于多目标优化模型对多组工作数据和多组质量数据执行迭代优化，得到最优解集；

所述多目标优化模型的决策变量包括：所述工作数据中的至少一个参数和/或所述质量数据中的至少一个参数；

所述多目标优化模型的优化目标包括所述粒子束的运动参数；

根据所述最优解集控制所述电磁透镜组。

2.如权利要求1所述的电磁透镜组中带电粒子束的控制方法，其特征在于，基于GBNM算法求解所述多目标优化模型的最优解集。

3.如权利要求1所述的电磁透镜组中带电粒子束的控制方法，其特征在于，所述电磁透镜组包括：多组电极和多组电磁铁线圈；

所述工作数据包括以下参数中的至少一种：

所述电极的电压、所述电磁铁线圈的电流、所述电极的位置信息、所述电磁铁线圈的位置信息。

4.如权利要求1所述的电磁透镜组中带电粒子束的控制方法，其特征在于，所述质量数据包括以下参数中的至少一种：

所述粒子束的入射能量、所述粒子束的出射能量、所述粒子束的粒子质量、所述粒子束的电荷、所述粒子束的电流和所述粒子束的发散角度。

5.如权利要求1所述的电磁透镜组中带电粒子束的控制方法，其特征在于，所述运动参数包括以下参数中的至少一种：

预设位置处的所述粒子束的强度；所述粒子束与预设位置之间的距离偏差；所述粒子束的偏转角度、所述粒子束的发散角度；所述粒子束的宽度。

6.一种电磁透镜组中带电粒子束的控制系统，其特征在于，所述控制系统包括：

数据获取模块，用于获取多组电磁透镜组的工作数据和多组粒子束的质量数据；

计算模块，用于基于多目标优化模型对多组工作数据和多组质量数据执行迭代优化，得到最优解集；

所述多目标优化模型的决策变量包括：所述工作数据中的至少一个参数和/或所述质量数据中的至少一个参数；

所述多目标优化模型的优化目标包括所述粒子束的运动参数；

控制模块，用于根据所述最优解集控制所述电磁透镜组。

7.如权利要求6所述的电磁透镜组中带电粒子束的控制系统，其特征在于，所述计算模块基于GBNM算法求解所述多目标优化模型的最优解集。

8.如权利要求6所述的电磁透镜组中带电粒子束的控制系统，其特征在于，所述电磁透镜组包括：多组电极和多组电磁铁线圈；

所述工作数据包括以下参数中的至少一种：

所述电极的电压、所述电磁铁线圈的电流、所述电极的位置信息、所述电磁铁线圈的位置信息。

9.如权利要求6所述的电磁透镜组中带电粒子束的控制系统，其特征在于，所述质量数据包括以下参数中的至少一种：

所述粒子束的入射能量、所述粒子束的出射能量、所述粒子束的粒子质量、所述粒子束的电荷、所述粒子束的电流和所述粒子束的发散角度。

10.如权利要求6所述的电磁透镜组中带电粒子束的控制系统，其特征在于，所述运动参数包括以下参数中的至少一种：

预设位置处的所述粒子束的强度；所述粒子束与预设位置之间的距离偏差；所述粒子束的偏转角度、所述粒子束的发散角度；所述粒子束的宽度。