[发明专利]一种用于Nanoprobe-FIB-TEM失效分析的多用途样品座及其应用在审
| 申请号： | 201910339547.7 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110133019A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 黄亚敏;董业民;王秀芳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N23/20025 | 分类号： | G01N23/20025;G01N23/2005;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 宋丽荣 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于Nanoprobe‑FIB‑TEM失效分析的多用途样品座，包括：半月形样品台为具有窗口的半圆形硅片，TEM薄片样品固定在该窗口上；基座包括本体、用于安装Nanoprobe样品的第一支柱和用于安装半月形样品台的第二支柱，第一支柱和第二支柱固定连接在本体上，本体具有第一基座贯通孔和第二基座贯通孔；卡座具有第一卡座贯通孔和第二卡座贯通孔；第一卡座贯通孔与第一基座贯通孔或第二基座贯通孔适配，第二卡座贯通孔与FIB样品卡座台适配。本发明还提供上述的多用途样品座的应用。根据本发明的多用途样品座，适用于Nanoprobe、FIB、TEM多仪器，免去了在不同仪器里频繁更换样品台的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 贯通孔 卡座 样品座 样品台 半月形 失效分析 适配 薄片样品 多仪器 硅片 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于Nanoprobe‑FIB‑TEM失效分析的多用途样品座，其特征在于，包括：用于安装至TEM样品固定台的半月形样品台，该半月形样品台为具有窗口的半圆形硅片，TEM薄片样品固定在该窗口上；基座，该基座包括本体、用于安装Nanoprobe样品的第一支柱和用于安装半月形样品台的第二支柱，其中，第一支柱和第二支柱固定连接在本体上，本体具有第一基座贯通孔和第二基座贯通孔；用于安装至Nanoprobe样品卡座台和FIB样品卡座台的卡座，该卡座具有第一卡座贯通孔和第二卡座贯通孔；其中，第一卡座贯通孔与第一基座贯通孔或第二基座贯通孔适配以将基座安装固定至卡座，第二卡座贯通孔与FIB样品卡座台适配以将卡座安装固定至FIB样品卡座台。
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