[发明专利]检测装置和硅片分选设备在审
| 申请号： | 201910329325.7 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN109967388A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 李文;李昶;彭海军;徐飞 | 申请（专利权）人： | 无锡奥特维科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B07C5/02 |
| 代理公司： | 北京路胜元知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11669 | 代理人： | 路兆强;张亚彬 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测装置和硅片分选设备，检测装置包括用于输送待测物体的输送机构和两组检测机构，第一组检测机构被配置为检测待测物体的第一边缘和上表面，第二组检测机构被配置为检测待测物体的第二边缘和下表面，每组检测机构均包括检测相机、反射机构和激光发射器，反射机构对激光发射器发射的激光进行至少一次反射，以使激光经过待测物体的被检测边缘反射后被对应的检测相机探测到，第一边缘和第二边缘为待测物体上相对的且与输送机构的输送方向垂直的两条边缘。本发明的硅片分选设备包括上述的检测装置。本发明中，检测待测物体的效率得以有效提高，设备制造成本低，结构简化，检测成本显著降低，检测过程连续性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 待测物体 检测 分选设备 检测装置 硅片 激光发射器 反射机构 输送机构 激光 相机 设备制造成本 过程连续性 方向垂直 检测边缘 结构简化 一次反射 上表面 下表面 种检测 两组 反射 配置 探测 发射 | ||
【主权项】：
1.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括用于输送待测物体的输送机构和两组检测机构，第一组检测机构被配置为检测待测物体的第一边缘和上表面，第二组检测机构被配置为检测待测物体的第二边缘和下表面，每组检测机构均包括检测相机、反射机构和激光发射器，所述反射机构对所述激光发射器发射的激光进行至少一次反射，以使激光经过所述待测物体的被检测边缘反射后被对应的检测相机探测到，所述第一边缘和所述第二边缘为所述待测物体上相对的且与所述输送机构的输送方向垂直的两条边缘。
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