[发明专利]一种化学机械抛光液用氧化铝及其制备工艺有效
| 申请号： | 201910320947.3 | 申请日： | 2019-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN109867298B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 左海珍 | 申请（专利权）人： | 湖南恒源精密陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | C01F7/02 | 分类号： | C01F7/02;C01F7/46;C09K3/14 |
| 代理公司： | 南昌逸辰知识产权代理事务所(普通合伙) 36145 | 代理人： | 刘晓敏 |
| 地址： | 410100 湖南省长沙市经济技术开发区星沙产业基地凉塘*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种化学机械抛光液用氧化铝及其制备方法，其中抛光液中的α‑氧化铝颗粒由高岭石提纯获得，所述氧化铝颗粒的纯度大于99wt.%、莫氏硬度9.1、颗粒尺寸集中于0.5±0.25μm，D |
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| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 氧化铝 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光液用氧化铝，其特征在于所述氧化铝来自于高岭土中提纯的Al2O3颗粒，所述Al2O3的晶相为α氧化铝，纯度大于99wt.%，莫氏硬度9.1，颗粒尺寸集中于0.5±0.25μm， D97≤1μm。
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