[发明专利]一种等离子体诱导透明超材料传感器

摘要

本发明公开了一种等离子体诱导透明超材料传感器，属于石墨烯材料在中红外波段传感器件，利用了石墨烯表面等离子体特性及等离子体诱导透明理论。该传感器件为三维周期性结构，其结构组成为：顶层为石墨烯开口谐振环和石墨烯双纳米带结构，中间层为二氧化硅介质，底层为掺杂硅基底层，由上往下堆叠而成的三层结构。本发明主要通过有限元方法计算模拟出等离子体诱导透明超材料传感器的谐振光谱，对传感器结构进行优化，具有在中红外频段激发出等离子体诱导透明共振的能力，并可以有效调谐等离子体诱导透明共振的线形和谐振频率。本发明结构简单、紧凑合理，便于加工。