[发明专利]基于溶胶凝胶法的二氧化硅减反膜表面改性方法在审
| 申请号： | 201910303460.4 | 申请日： | 2019-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN110066119A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 熊怀;唐永兴;胡丽丽;李海元 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C03C17/42 | 分类号： | C03C17/42 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于溶胶凝胶法二氧化硅减反膜的表面改性方法，用含硅甲基疏水基团的硅烷偶联剂预聚体涂布在玻璃基底的二氧化硅减反膜的表面，热处理后硅烷偶联剂预聚体薄层对二氧化硅减反膜的表面形成覆盖。本发明通过覆盖硅烷偶联剂预聚体阻止水汽和有机污染物从膜层表面进入膜层内部。该膜层具有表面致密、内部疏松的结构，致密的疏水表面可以阻止水汽和有机污染物进入膜层内部，而膜层内部维持保持疏松结构可以产生良好的光学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化硅 膜层 硅烷偶联剂 预聚体 溶胶凝胶法 有机污染物 水汽 致密 热处理 表面改性 表面形成 表面致密 光学性能 膜层表面 内部疏松 疏水表面 疏水基团 疏松结构 玻璃基 膜表面 薄层 改性 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种基于溶胶凝胶法的二氧化硅减反膜表面改性方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤1)对通过溶胶凝胶法制备的二氧化硅减反膜进行固化处理得出二氧化硅减反膜层；步骤2)制备硅烷偶联剂溶胶，作为硅烷偶联剂预聚体；步骤3)用硅烷偶联剂预聚体涂布在所述的二氧化硅减反膜层上后，再次进行固化处理，得到硅烷偶联剂预聚体膜层与二氧化硅减反膜层的复合膜，即表面改性的二氧化硅减反膜。
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