[发明专利]X射线分析设备

摘要

本公开涉及但不限于X射线分析设备。所述设备包括用于支撑样本的样本台、具有旋转轴的测角仪和布置成绕测角仪的旋转轴可旋转的X射线检测器，其中X射线检测器布置成接收来自样本的沿着X射线束路径引导的X射线。X射线分析设备还包括均具有第一和第二配置的第一、第二和第三准直器。准直器在其第一配置中布置在X射线束路径中。准直器在其第二配置中布置在X射线束路径之外。第一致动器装置配置成通过在与X射线束路径相交的横向方向移动第一和第二准直器来在第一和第二配置之间移动第一和第二准直器。第二致动器装置配置成使第三准直器在其第一和第二配置之间移动。控制器配置成控制第一致动器装置以使第一准直器在第一和第二配置之间移动。

主权项

1.一种X射线分析设备(2)，包括：样本台(8)，其用于支撑样本(6)；测角仪，其具有旋转轴；X射线检测器(14)，其被布置成围绕所述测角仪的所述旋转轴是可旋转的，其中，所述X射线检测器(14)被布置成接收来自所述样本的沿着X射线束路径引导的X射线；第一准直器(18)、第二准直器(20)和第三准直器，其中，所述第一准直器、所述第二准直器和所述第三准直器中的每一个具有：第一配置，所述准直器在第一配置中布置在所述X射线束路径中，以及第二配置，所述准直器在第二配置中布置在所述X射线束路径之外；第一致动器装置(21)，其被配置为通过在与所述X射线束路径相交的横向方向上移动所述第一准直器(18)来使所述第一准直器(18)在第一配置和第二配置之间移动，并且通过在与所述X射线束路径相交的横向方向上移动所述第二准直器(20)来使所述第二准直器(20)在第一配置和第二配置之间移动；第二致动器装置(29)，其被布置成通过在与所述X射线束路径相交的横向方向上移动所述第三准直器(26)来使所述第三准直器(26)在第一配置和第二配置之间移动；以及控制器(17)，其被配置成：控制所述第一致动器装置(21)以使所述第一准直器(18)在第一配置和第二配置之间移动，以及使所述第二准直器(20)在第一配置和第二配置之间移动；以及控制所述第二致动器装置以使所述第三准直器(26)在第一配置和第二配置之间移动，其中，所述第一准直器、所述第二准直器和所述第三准直器中的每一个是Soller狭缝准直器或平行板准直器。