[发明专利]蒸发率测定装置、蒸发率测定装置的控制方法、成膜装置、成膜方法及电子设备的制造方法在审
| 申请号： | 201910278035.4 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN110777350A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 大津健 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24;H01L51/50 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的蒸发率测定装置被用于使蒸镀材料从多个蒸发源蒸发并蒸镀到基板的成膜面上的成膜装置，其特征在于，包括：多个蒸发率传感器，所述多个蒸发率传感器分别对应于所述多个蒸发源地设置，分别包含用于监控从对应的所述蒸发源蒸发的所述蒸镀材料的蒸发率的多个晶体振子；蒸发率算出部，所述蒸发率算出部对应于各所述蒸发率传感器地设置，基于各所述蒸发率传感器的所述监控结果而算出来自各所述蒸发源的蒸镀材料的蒸发率；及控制部，所述控制部控制各所述蒸发率传感器中的所述多个晶体振子的切换时机，对于所述多个蒸发率传感器，所述控制部以将各所述蒸发率传感器内的晶体振子在相同时机一并切换的方式进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发率 传感器 晶体振子 蒸镀材料 蒸发源 蒸发 测定装置 成膜装置 监控结果 时机 成膜 基板 蒸镀 监控 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发率测定装置，所述蒸发率测定装置被用于使蒸镀材料从多个蒸发源蒸发并蒸镀到基板的成膜面上的成膜装置，其特征在于，包括：/n多个蒸发率传感器，所述多个蒸发率传感器分别对应于所述多个蒸发源地设置，分别包含用于监控从对应的所述蒸发源蒸发的所述蒸镀材料的蒸发率的多个晶体振子；/n蒸发率算出部，所述蒸发率算出部对应于各所述蒸发率传感器地设置，基于各所述蒸发率传感器的所述监控结果而算出来自各所述蒸发源的蒸镀材料的蒸发率；及/n控制部，所述控制部控制各所述蒸发率传感器中的所述多个晶体振子的切换时机，/n对于所述多个蒸发率传感器，所述控制部以将各所述蒸发率传感器内的晶体振子在相同时机一并切换的方式进行控制。/n
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