[发明专利]一种用于光电探测成像的位敏阳极及位敏阳极探测器在审
| 申请号： | 201910266130.2 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN110068393A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 陈萍;田进寿;温文龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J1/44 | 分类号： | G01J1/44;H01J40/16;H01J40/04 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于光电探测、成像领域，具体涉及一种用于光电探测成像的位敏阳极及位敏阳极探测器。位敏阳极包括衬底、电荷收集极、金属阳极及连接导线；衬底由介电材料制成，电荷收集极位于衬底输入面之上且与衬底输入面紧贴；金属阳极包括以p×q阵列排列的独立金属阳极单元，其中p，q均为整数，且p≥q，位于衬底输入面下方且与衬底输入面相隔一定距离，使金属阳极与电荷收集极形成电容耦合，将电荷收集极收集到的电荷耦合到金属阳极；连接导线包括以p×q阵列排列的独立导线，与金属阳极单元一一对应连接。解决了现有电荷分割型位敏阳极工艺制作难度大、空间分辨率不易提高、不适宜高温烘烤的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 金属阳极 电荷收集 位敏阳极 输入面 光电探测 位敏阳极探测器 连接导线 阵列排列 成像 空间分辨率 成像领域 电荷分割 电荷耦合 电容耦合 独立导线 独立金属 高温烘烤 工艺制作 介电材料 阳极单元 紧贴 相隔 | ||
【主权项】：
1.一种用于光电探测成像的位敏阳极，其特征在于：包括衬底(101)、电荷收集极(102)、金属阳极(103)及连接导线(104)；所述衬底(101)由介电材料制成，包括衬底输入面(101a)与衬底输出面(101b)；所述电荷收集极(102)位于衬底输入面(101a)之上且与衬底输入面(101a)紧贴；所述金属阳极(103)包括以p×q阵列排列的独立金属阳极单元(103a)，其中p，q均为整数，且p≥q，位于衬底输入面(101a)下方且与衬底输入面(101a)相隔一定距离，使金属阳极(103)与电荷收集极(102)形成电容耦合，将电荷收集极(102)收集到的电荷耦合到金属阳极(103)；所述连接导线(104)包括以p×q阵列排列的独立导线(104a)，与金属阳极单元(103a)一一对应连接。
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