[发明专利]一种束流竖直方向角度的测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种竖直方向束流角度的连续测量装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该装置包括：法拉第杯(5)，束流挡板(4)，前置角度挡板(3)，束流挡板传动装置(35)，前置挡板传动装置(42)，控制器(37)。该方法包括：束流挡板停在起始点(36)，前置挡板向下运动到结束点(50)，控制器(37)采集束流值大小，判断是否满足测量条件。前置挡板向下运动，每到达一个角度测量点(51)便停止运动，此时束流挡板开始向下运动，并开始不断采集束流值。当前置挡板到达结束点时结束测量，分析每组束流采集值得出束流挡板的临界位置(49)。经过数据处理，得到与测量点一一对应的束流角度大小(18)。