[发明专利]光侦测元件有效

专利信息
申请号: 201910251961.2 申请日: 2019-03-29
公开(公告)号: CN110491956B 公开(公告)日: 2021-04-02
发明(设计)人: 林清富;庄闳杰;林孟颉;黄柏瑞 申请(专利权)人: 林清富
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/09
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张琳
地址: 中国台湾*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明一实施例提供一种利用金属半导体界面的光侦测元件,可应用于红外光的侦测。在另一实施例,该光侦测元件导入局域表面等离子体共振结构,以提升元件的光电响应与侦测波长范围。该光侦测元件可应用于测量各种入射光强度与测量可见光至中红外光波段(300nm~20μm)的入射光信号。
搜索关键词: 侦测 元件
【主权项】:
1.一种光侦测元件,其特征在于包含:/n半导体,具有纳微米结构;/n欧姆接触电极,与该半导体的第一表面形成欧姆接触;/n金属电极,该金属电极与该纳微米结构的表面形成萧特基接触;/n该金属电极中的载子,受入射光子激发后形成电子电洞对或热载子而越过该金属电极与该半导体界面的萧特基能障,以形成光电流。/n
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