[发明专利]一种基于谐振频率测量的电容传感器及其工作方法及应用有效
| 申请号： | 201910245319.3 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN109917185B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 陈志龙 | 申请（专利权）人： | 北京同创微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R23/12 | 分类号： | G01R23/12;G01B7/02 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张庆骞 |
| 地址： | 100096 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种基于谐振频率测量的电容传感器及其工作方法及应用。其中，基于谐振频率测量的电容传感器，包括传感器探头，与被测极板构成平板电容；等幅稳频正弦振荡器，其与平板电容的探头端相连，平板电容的被测极板端接地；等幅稳频正弦振荡器，用于输出幅值稳定，频偏对应于被测极板的位移量或面积变化量的振荡载波信号；本地振荡器，用于输出幅值和频率稳定的本振信号；正交解调器，用于将振荡信号通过本振信号解调为同相分量和正交分量；正交相位测量装置，其用于计算正交分量与同相分量的反正切函数，得到频差信号的相位及频率；通过频差信号频率与电容变化量的关系，求出被测极板的位移量或面积变化量。其在极宽的采样频率范围内都可以达到精密测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 谐振 频率 测量 电容 传感器 及其 工作 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于谐振频率测量的电容传感器，其特征在于，包括：传感器探头，其与被测极板构成平板电容；等幅稳频正弦振荡器，其与平板电容的探头端相连，平板电容的被测极板端接地；所述等幅稳频正弦振荡器，用于输出幅值稳定，频偏对应于被测极板的位移量或面积变化量的振荡载波信号；本地振荡器，其用于输出幅值和频率稳定的本振信号；正交解调器，其用于将振荡信号通过本振信号解调为同相分量和正交分量；正交相位测量装置，其用于：计算正交分量与同相分量的反正切函数，得到差频信号的相位及频率；通过差频信号频率与电容变化量的关系，求出被测极板的位移量或面积变化量。
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