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[发明专利]一种面向压电器件的检测系统及其方法-CN201910245352.6有效
发明人：陈志龙 -专利权人： 北京同创微纳科技有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本公开提供了面向压电器件的检测系统及其方法。其中，面向压电器件的检测系统，包括：线性放大模块，其与自适应数字控制模块相连；所述随动电源模块用于为线性放大模块提供工作电压；所述线性放大模块，用于线性放大所述自适应数字控制模块输出的驱动信号，以驱动待测压电器件；负载反馈模块，其用于将实时检测的线性放大模块输出信号以及待测压电器件的某个物理量均反馈至自适应数字控制模块；所述自适应数字控制模块，用于根据输入信号和负载反馈，自适应输出驱动信号经线性放大模块放大后驱动待测压电器件的某个物理量跟随输入信号变化。
一种面向压电器件检测系统及其方法

[发明专利]一种基于谐振频率测量的电容传感器及其工作方法及应用-CN201910245319.3有效
发明人：陈志龙 -专利权人： 北京同创微纳科技有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： G01R23/12 文献下载
摘要：本公开提供了一种基于谐振频率测量的电容传感器及其工作方法及应用。其中，基于谐振频率测量的电容传感器，包括传感器探头，与被测极板构成平板电容；等幅稳频正弦振荡器，其与平板电容的探头端相连，平板电容的被测极板端接地；等幅稳频正弦振荡器，用于输出幅值稳定，频偏对应于被测极板的位移量或面积变化量的振荡载波信号；本地振荡器，用于输出幅值和频率稳定的本振信号；正交解调器，用于将振荡信号通过本振信号解调为同相分量和正交分量；正交相位测量装置，其用于计算正交分量与同相分量的反正切函数，得到频差信号的相位及频率；通过频差信号频率与电容变化量的关系，求出被测极板的位移量或面积变化量。其在极宽的采样频率范围内都可以达到精密测量。
一种基于谐振频率测量电容传感器及其工作方法应用

[发明专利]一种用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置-CN201910245327.8有效
发明人：陈志龙 -专利权人： 北京同创微纳科技有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本公开提供了用于多种纳米位移传感器间相互标定的装置。该装置包括位移平台，所述位移平台包括动平台和静平台，动平台与压电器件相连；压电器件用于将控制电压转化为驱动力以驱动动平台运动；动平台上安装有第一反射镜，静平台上安装有第二反射镜；动平台运动使得激光干涉仪发射的激光经第一反射镜和第二反射镜的反射后产生变化的干涉条纹；位移平台上设置有单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中的至少一者，激光干涉仪、单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器均可获得动平台位移变化数据，进而实现单极电容传感器、光栅位移传感器和双极电容传感器中的至少一者与激光干涉仪相互标定。
一种用于多种纳米位移传感器相互标定装置