[发明专利]一种银引入氮化铪膜高疏水耐久材料有效
| 申请号： | 201910239047.6 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN109913826B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 胡超权;蔡继泽;田宏伟;郑伟涛 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 段红玉 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及疏水膜材料领域，具体涉及一种银引入氮化铪膜高疏水耐久材料，包括母体材料，母体材料选用氮化铪，在制备过程中，引入与母体材料不润湿的银元素并采用磁控共溅射的方法，制备出银引入氮化铪膜高疏水耐久材料；本发明没有使用昂贵、复杂的实验装置，而是根据薄膜不同的结构与性质提出了一套简单可行的技术方案，解决了现有问题，制得的该材料不但具有良好的疏水性，还具有优异的耐久性，有望在高速固液粒子撞击、高温以及腐蚀液体气体存在的严苛环境下作为高疏水耐久膜使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 引入 氮化 铪膜高 疏水 耐久 材料 | ||
【主权项】：
1.一种新型银引入氮化铪膜高疏水耐久材料，其特征在于：包括母体材料，所述母体材料选用氮化铪，在制备过程中，引入与所述母体材料不润湿的银元素，制备HfN‑Agx膜；HfN‑Agx膜中Ag的含量为4.5‑5.5at.％，晶粒尺寸为5‑9nm，厚度在3～4μm，表面粗糙度在36nm以上，且依旧保持岩盐相结构。
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