[发明专利]电阻模型及其提取方法有效
| 申请号： | 201910231064.5 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN110008551B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/373 | 分类号： | G06F30/373 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电阻模型，涉及半导体集成电路，将影响电阻的电压系数的电阻宽度W及电阻方块数sqr的特征因子引入到电阻模型中来优化电阻模型精度，并采用人工智能算法优化影响电阻的电压系数的电阻宽度W及电阻方块数sqr的特征因子，直至根据以优化的电阻宽度调整因子和电阻方块数调整因子为电阻宽度调整因子和电阻方块数调整因子的电阻模型得到的误差收敛满足要求，则输出优化的电阻宽度调整因子和电阻方块数调整因子，并将优化的电阻宽度调整因子和电阻方块数调整因子作为电阻模型的电阻宽度调整因子和电阻方块数调整因子，使得该新型电阻模型能够更好、更准确的反应电阻器件的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 模型 及其 提取 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电阻模型，其特征在于，所述电阻模型为：R＝Rsh0*(1+(JC1a+JC1a_w*W+JC1a_n*sqr+V*(JC1b+JC1b_w*W+JC1b_n*sqr)/L)/L+V*V*(JC2a+JC2a_w*W+JC2a_n*sqr+(JC2b+JC2b_w*W+JC2b_n*sqr)/L)/L)*L/W其中，L为电阻体的长度(厘米)，W为电阻体的横截面积(平方厘米)，V为施加在电阻上的电压(伏)，sqr为方块数，Rsh0为电压为零时的电阻值，JC1a和JC1b为第一电压系数VC1的长度特征系数，JC2a和JC2b为第二电压系数VC2的长度特征系数，JC1a_w、JC1b_w、JC2a_w、JC2b_w为电阻宽度调整因子，JC1a_n、JC1b_n、JC2a_n、JC2b_n为电阻方块数调整因子，其中，VC1(1/L)＝JC1a*(1/L)+JC1b*(1/L)*(1/L)，VC2(1/L)＝JC2a*(1/L)+JC2b*(1/L)*(1/L)。
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