[发明专利]全光透镜在光传感器衬底上的单片集成

摘要

本发明涉及全光结构在图像传感器上的单片集成，其中在光传感器的衬底上利用具有低折射率的材料(包括或者不包括滤色镜和/或像素微透镜)并且在具有低折射率的所述材料上布置具有高折射率的材料来制造全光微透镜。直接在光传感器的衬底上制造全光微透镜。高集成密度的光传感器被以最小距离布置以最小化像素间干扰，为了高密度集成的目标，在邻近具有相同颜色的像素的光传感器的顶点上具有“变形的方向”的几何形状，从所述顶点移除任何光敏区域，以使光传感器远离具有相同颜色的邻近像素的噪声(具有相同颜色的邻近像素的辐照圆或者艾里盘)。通过距衬底不同距离处的全光微透镜的结构(在其周边上更小)和/或在其周边上的更不对称的轮廓和/或朝向传感器的周边的具有不同尺寸和形状的像素，来提高光效率。通过产生低折射率和高折射率的交替层来制造微物镜。

主权项

1.一种全光传感器，所述全光传感器整体集成以下元件：具有光传感器的基板；由高折射率材料层构成并位于所述具有光传感器的基板上方的像素微透镜；由高折射率材料层构成并位于所述像素微透镜上方的全光微透镜。