[发明专利]用于形成自适应层的装置及其使用方法在审
| 申请号： | 201910226016.7 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN110320741A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | A·切若拉;M·J·迈斯尔 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及用于形成自适应层的装置及其使用方法。一种装置可以包括逻辑元件，所述逻辑元件被配置为至少部分地基于与第一衬底卡盘和第二衬底卡盘相关联的平坦度分布的差异来生成与要在当前衬底上方形成的自适应层相对应的信息。在另一方面中，一种方法可以包括使用先前的衬底获得第一卡盘和第二卡盘的厚度分布的差异，以及在形成与先前形成的图案化层对准的图案化抗蚀剂层之前并且在当前衬底的先前形成的图案化层上方形成自适应层。在一个实施例中，自适应层的厚度分布是衬底卡盘的平坦度分布的差异的倒数的函数。自适应层可以帮助减少与衬底卡盘的不同平坦度分布相关联的重叠误差。 | ||
| 搜索关键词： | 自适应层 衬底卡盘 平坦度 衬底 厚度分布 逻辑元件 图案化层 卡盘 图案化抗蚀剂 关联 重叠误差 倒数 对准 配置 帮助 | ||
【主权项】：
1.一种装置，其特征在于，包括逻辑元件，所述逻辑元件被配置为至少部分地基于与第一衬底卡盘和第二衬底卡盘相关联的平坦度分布的差异来生成与要在当前衬底上方形成的自适应层相对应的信息。
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