[发明专利]一种调节组件及微调装置有效
| 申请号： | 201910222057.9 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN111722475B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 宁诗琪;王青亮;郑锋标;张阔峰;郑教增;姜杰;郝凤龙;庞飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调节组件及微调装置，属于精密机械加工及装配技术领域。该调节组件包括固定底板，其与待调整件固定连接；第一调节杆，其与所述固定底板连接，且所述第一调节杆上设置有驱动块，所述第一调节杆能带动所述驱动块在垂直于所述第一调节杆轴线方向致动；第二调节杆，其一端与所述驱动块抵接，另一端与固定基准抵接。该微调装置包括上述调节组件。本发明的调节组件设置第一调节杆、驱动块、第二调节杆以及与调整底座固定连接的固定底板，并借助固定基准的作用使得第二调节杆向驱动块施加反作用力，进而推动调整底座移动，该调节组件结构简单，安装方便，且无需设置腰型孔也可实现沿某一方向的位移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 组件 微调 装置 | ||
【主权项】：
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