[发明专利]一种调节组件及微调装置

说明书

本发明公开了一种调节组件及微调装置，属于精密机械加工及装配技术领域。该调节组件包括固定底板，其与待调整件固定连接；第一调节杆，其与所述固定底板连接，且所述第一调节杆上设置有驱动块，所述第一调节杆能带动所述驱动块在垂直于所述第一调节杆轴线方向致动；第二调节杆，其一端与所述驱动块抵接，另一端与固定基准抵接。该微调装置包括上述调节组件。本发明的调节组件设置第一调节杆、驱动块、第二调节杆以及与调整底座固定连接的固定底板，并借助固定基准的作用使得第二调节杆向驱动块施加反作用力，进而推动调整底座移动，该调节组件结构简单，安装方便，且无需设置腰型孔也可实现沿某一方向的位移。

技术领域

本发明涉及精密机械加工及装配技术领域，尤其涉及一种调节组件及微调装置。

背景技术

在光刻机的掩模传输分系统中，掩模版粗预对准完成后，由交换版手旋转180°后交接给掩模台，消除掩模版在交换版过程中产生的位置偏差，保证掩模版交接到交换版机械手前的上版精度，并确保掩模上版到掩模台的位置重复性。

具体地，探测器读取光源的覆盖情况，判断掩模版标记的位置，从而通过掩模台对掩膜版进行位置补偿。探测器在判断掩膜版的位置偏差时，必须要设定掩膜版的理论位置，则在上版之前，应调整探测器中四象限传感器中心位置与掩膜版理论位置重合，标记为探测器的零位。

目前，光刻机产品中的精细预对准探测器安装板直接通过机械加工保证精度，未直接建立探测器与掩膜版标记位置关系。为了直接建立探测器与掩膜版标记位置的关系，需实现探测器在X、Y和R_z三个方向解耦，且由此调整的探测器位置作为掩膜版标记的理论位置，并对探测器标零位。同时，X、Y两个方向调整分辨率需满足微米级，R_z方向的调整分辨率需满足毫弧度级。

在机械结构中，实现X、Y两个方向可调，一般通过设计腰型孔调节，且一组腰型孔只能单独实现X或Y方向调节。若要同时实现X、Y两个方向可调，一般需采用两层腰孔结构，且调节精度低，稳定性差。若还需调节R_z方向，需另外增加转动机构。同时实现X、Y和R_z三个方向手动可调，则需多层结构才能满足。

为此，亟需提供一种调节组件及微调装置以解决上述问题。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种调节组件，结构简单，无需设置腰型孔即可实现X向或Y向的调节。

本发明的另一目的在于提供一种微调装置，可以在同一层结构上设置调节组件，并实现X、Y和R_z三个方向手动可调。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种调节组件，其特征在于，包括：

固定底板，其与待调整件固定连接；

第一调节杆，其与所述固定底板连接，且所述第一调节杆上设置有驱动块，所述第一调节杆能带动所述驱动块在垂直于所述第一调节杆轴线方向致动；

第二调节杆，其一端与所述驱动块抵接，另一端与固定基准抵接。

作为可选，所述待调整件设置有转动销轴，所述第二调节杆的中间部分与所述转动销轴转动连接，所述驱动块配置为能驱动所述第二调节杆转动。

作为可选，所述调节组件包括弹性件，所述弹性件设置于所述第二调节杆与所述驱动块抵接的一端，所述弹性件的一端与所述第二调节杆连接，另一端与所述待调整件连接，所述弹性件能使所述第二调节杆与所述驱动块抵接。

作为可选，所述弹性件为压缩弹簧，所述第二调节杆位于所述压缩弹簧和所述驱动块之间，且所述压缩弹簧的一端与所述第二调节杆抵接，另一端与所述待调整件连接。

作为可选，所述第二调节杆的一端端面与所述驱动块抵接，另一端端面与所述固定基准抵接，所述驱动块配置为能驱动所述第二调节杆线性移动。