[发明专利]一种调节组件及微调装置有效

专利信息
申请号: 201910222057.9 申请日: 2019-03-22
公开(公告)号: CN111722475B 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 宁诗琪;王青亮;郑锋标;张阔峰;郑教增;姜杰;郝凤龙;庞飞 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F9/00
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 调节 组件 微调 装置
【权利要求书】:

1.一种调节组件,其特征在于,包括:

固定底板(33),其与待调整件固定连接;

第一调节杆(31),其与所述固定底板(33)连接,且所述第一调节杆(31)上设置有驱动块,所述第一调节杆(31)能带动所述驱动块在垂直于所述第一调节杆(31)轴线方向致动;

第二调节杆(34),其一端与所述驱动块抵接,另一端与固定基准抵接;

所述驱动块配置为能驱动所述第二调节杆(34)线性移动;

所述调节组件包括拉伸弹簧(38),所述拉伸弹簧(38)与所述第二调节杆(34)的线性移动方向平行,所述拉伸弹簧(38)的一端与第二调节杆(34)连接,另一端与所述待调整件连接,所述拉伸弹簧(38)能使所述第二调节杆(34)与所述驱动块抵接;

所述调节组件还包括:第一固定销(37),与所述待调整件连接,所述拉伸弹簧(38)的一端与所述第一固定销(37)连接;第二固定销(39),与所述第二调节杆(34)固定连接,所述拉伸弹簧(38)的另一端与所述第二固定销(39)连接;所述第一固定销(37)位于所述驱动块和所述第二固定销(39)之间,或所述驱动块位于所述第一固定销(37)和所述第二固定销(39)之间。

2.根据权利要求1所述的调节组件,其特征在于,所述待调整件设置有转动销轴(35),所述第二调节杆(34)的中间部分与所述转动销轴(35)转动连接,所述驱动块配置为能驱动所述第二调节杆(34)转动。

3.根据权利要求2所述的调节组件,其特征在于,所述调节组件包括弹性件,所述弹性件设置于所述第二调节杆(34)与所述驱动块抵接的一端,所述弹性件的一端与所述第二调节杆(34)连接,另一端与所述待调整件连接,所述弹性件能使所述第二调节杆(34)与所述驱动块抵接。

4.根据权利要求3所述的调节组件,其特征在于,所述弹性件为压缩弹簧(36),所述第二调节杆(34)位于所述压缩弹簧(36)和所述驱动块之间,且所述压缩弹簧(36)的一端与所述第二调节杆(34)抵接,另一端与所述待调整件连接。

5.根据权利要求1所述的调节组件,其特征在于,所述第二调节杆(34)设置有调节槽,所述第二固定销(39)位于所述调节槽内,且所述第一固定销(37)能伸入所述调节槽内,且所述第一固定销(37)位于所述驱动块和所述第二固定销(39)之间。

6.根据权利要求5所述的调节组件,其特征在于,所述第一固定销(37)平行于所述第一调节杆(31),且所述第一固定销(37)与所述第二固定销(39)垂直设置。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的调节组件,其特征在于,所述驱动块为楔形块(32),所述楔形块(32)与所述第一调节杆(31)螺纹连接,所述楔形块(32)配置为沿所述第一调节杆(31)轴向运动,且所述第二调节杆(34)的一端与所述楔形块(32)的斜面抵接。

8.根据权利要求1-6任意一项所述的调节组件,其特征在于,所述驱动块为偏心轮(32′),所述第一调节杆(31)与所述偏心轮(32′)固定连接,所述第二调节杆(34)的一端与所述偏心轮(32′)的外周面抵接。

9.一种微调装置,其特征在于,包括调整底座(1)及权利要求1-8任意一项所述的调节组件,所述调节组件的固定底板(33)与所述调整底座(1)固定连接。

10.根据权利要求9所述的微调装置,其特征在于,所述调整底座(1)包括垂直于第一方向的第一平面(11)和垂直于第二方向的第二平面(12),所述第一平面(11)所在侧设置有至少一个所述调节组件,所述第二平面(12)所在侧设置有至少一个所述调节组件。

11.根据权利要求10所述的微调装置,其特征在于,所述第二平面(12)所在侧设置有至少两个所述调节组件。

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