[发明专利]溅射靶及其包装方法有效
| 申请号： | 201910207461.9 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN110282177B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 馆野论;鹤田好孝 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | B65B31/00 | 分类号： | B65B31/00;B65B11/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦;洪玉姬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种抑制圆筒型背衬管的端部损伤的溅射靶。该溅射靶具有：圆筒型溅射靶材(110)；圆筒型背衬管(120)，通过接合材料与圆筒型溅射靶材(110)的内侧接合，且该圆筒型背衬管的在中心轴(C)方向上的长度比圆筒型溅射靶材(110)的在中心轴(C)方向上的长度长；以及保护盖(130)，覆盖圆筒型背衬管(120)的在中心轴(C)方向上的至少某个端部(121)；保护盖(130)含有合成树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 及其 包装 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶，其特征在于，具有：圆筒型溅射靶材；圆筒型背衬管，通过接合材料与所述圆筒型溅射靶材的内侧接合，且所述圆筒型背衬管的在中心轴方向上的长度比该圆筒型溅射靶材的在中心轴方向上的长度长；以及保护盖，覆盖所述圆筒型背衬管的在中心轴方向上的至少某个端部；所述保护盖含有合成树脂。
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B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65B 包装物件或物料的机械，装置或设备，或方法；启封
B65B31-00 在特殊气氛或气体条件下包装物件或物料；将喷射剂加到气雾剂容器内
B65B31-02 . 将保持在真空或超大气压下，或含有特殊气氛，如惰性气体的室内容器的装料、封闭，或装料和封闭
B65B31-04 . 用通过管嘴抽出或加注空气或其他气体，如惰性气体的方法，给已装料的容器或包裹件抽气、或压缩、或充气
B65B31-10 . 将固体形式的喷射剂加入气雾剂容器内
B65B31-06 ..该管嘴安置成可插入已装料的容器口中和可从口中抽出，并与容器口的密封装置联合操作
B65B31-08 ..该管嘴适用于穿入容器或包裹料
B65B 包装物件或物料的机械，装置或设备，或方法；启封
B65B31-00 在特殊气氛或气体条件下包装物件或物料；将喷射剂加到气雾剂容器内
B65B31-02 . 将保持在真空或超大气压下，或含有特殊气氛，如惰性气体的室内容器的装料、封闭，或装料和封闭
B65B31-04 . 用通过管嘴抽出或加注空气或其他气体，如惰性气体的方法，给已装料的容器或包裹件抽气、或压缩、或充气
B65B31-10 . 将固体形式的喷射剂加入气雾剂容器内
B65B31-06 ..该管嘴安置成可插入已装料的容器口中和可从口中抽出，并与容器口的密封装置联合操作
B65B31-08 ..该管嘴适用于穿入容器或包裹料
