[发明专利]用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，该装置搭载在磨削机床上，将待测光学元件放置磨削机床的工作台上，通过调节倾角调节装置使平面标准镜沿待测轮廓的倾斜角度等于待测轮廓的弦倾角，位移传感器一从待测轮廓的起始点运动至终止点，同时位移传感器二从平面标准镜的起始端运动至终端，将两位移传感器采集的数据输送至数据处理系统，通过数据处理系统计算得到待测轮廓的全频段误差，去除待测轮廓的非球面理论形貌、低频形状误差和高频粗糙度误差，得到中频波纹误差。该检测装置实现了在原有加工成形磨削机床上的在位检测，无需购置专用高精密测量仪器，也无需拆装元件，节约检测成本和检测时间。

主权项

1.用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其搭载于磨削机床(1)上，所述磨削机床(1)为X/Y/Z三正交直线轴磨削机床；其特征在于，包括：倾角调节装置(6)，所述倾角调节装置(6)放置在所述磨削机床的工作台(2)上，并位于待测非球面光学元件(3)一侧，所述倾角调节装置(6)的上端面为倾斜面，所述倾斜面与所述待测非球面光学元件(3)的待测轮廓的最高点至最低点连线平行；平面标准镜(7)，所述平面标准镜(7)固定在所述倾斜面上；位移传感器组件(8)，所述位移传感器组件(8)固定在所述磨削机床的主轴箱体(9)上，其上具有位移传感器一(4)和位移传感器二(5)，所述位移传感器一(4)位于所述待测非球面光学元件(3)待测轮廓的上方；所述位移传感器二(5)位于所述平面标准镜(7)的上方；所述位移传感器一(4)和所述位移传感器二(5)通信连接数据处理系统。